Целта на нашата отоплителна услуга е да подобри топлинната ефективност на ключово оборудване и производствени процеси на нашите клиенти на полупроводници, да засили научноизследователската и развойна дейност на вътрешната верига на полупроводниковата индустрия, да намали зависимостта от външни вериги за доставки, особено при доставката на ключови материали, оборудване и технологии, и да насърчи развитието на вътрешната полупроводникова индустрия.
Отоплителните елементи са както следва:
1. Слюда нагревателна плоча:
2. Полупроводников нагревателен прът: Прилага се за различни нагрявания на камери, различни обработки на вафли и различни нагрявания при транспортиране на газ
3. Полупроводников нагревателен пръстен: Прилага се в среда с висока радиочестота.
